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日本SMC 平穩(wěn)出氣閥XVD
產(chǎn)品時(shí)間:2024-11-01
閥與針閥一體化結(jié)構(gòu)使配管縮短為原來(lái)的1/4。
(閥芯)座部分采用間隙隔膜,微粒子數(shù)量大幅降低。
伴隨主供氣初期供氣可進(jìn)行流量調(diào)整。

日本SMC 平穩(wěn)出氣閥XVD

高真空元件

點(diǎn)擊系列名顯示產(chǎn)品樣本。點(diǎn)擊。  檢索CAD數(shù)據(jù)。


 
鋁制高真空L型閥   XL□
 


 
系列/CAD動(dòng)作方式軸密封形式
 
閥形式材質(zhì)法蘭尺寸
XLA 氣控波紋管密封單作用
(N.C.)
閥體:
 鋁合金
波紋管:
 SUS316L
16~80
XLAV
(帶電磁閥) 
XLC 雙作用
XLCV
(帶電磁閥) 
XLF O形圈密封
 
單作用
(N.C.)
閥體:
 鋁合金
16~160
XLFV
(帶電磁閥) 
XLG 雙作用16~80
XLGV
(帶電磁閥) 
XLD 波紋管?
O形圈密封
 
單作用
(N.C.)
閥體:
 鋁合金
波紋管:
 SUS316L
25~80
XLDV
(帶電磁閥) 
XLH 手動(dòng)波紋管密封
 
手動(dòng)閥體:
 鋁合金
波紋管:
 SUS316L
16~50
XLS 電磁式波紋管壓力平衡單作用
(N.C.)
16, 25
特長(zhǎng)
  • 抗氟腐蝕能力強(qiáng)。
  • 放出氣體少。
  • 重金屬污染少。

 

鋁制快換接頭裝拆 高真空L型閥  XLAQ·XLDQ
 


 
系列/CAD動(dòng)作方式軸密封形式閥形式材質(zhì)法蘭尺寸
XLAQ 氣控波紋管密封單作用
(N.C.)
閥體:
 鋁
波紋管:
 SUS316L
16~50
XLDQ 波紋管密封
O形圈密封
40,50
特長(zhǎng)
  • 快換接頭裝拆 (無(wú)需工具)

 

不銹鋼制高真空L型閥/直通閥  XM/XY
 


注)對(duì)直通型無(wú)尺寸16的閥。
系列/CAD
(L型/直通型)
動(dòng)作方式軸密封方式閥形式材質(zhì)法蘭尺寸
XMA/XYA 氣控波紋管密封單作用
(N.C.)
閥體:
  SCS13
  (相當(dāng)SUS304)
波紋管:
  SUS316L
16~80注)
XMC/XYC 雙作用
XMD/XYD 波紋管
O型圈密封
單作用
(N.C.)
閥體:
 SCS13
 (相當(dāng)SUS304)
波紋管:
 SUS316L
25~80
XMH/XYH 手動(dòng)波紋管密封手動(dòng)閥體:
 SCS13
  (相當(dāng)SUS304)
波紋管:
 SUS316L
16~50注)
特長(zhǎng)
  • 采用精密鑄造一體化結(jié)構(gòu),無(wú)氣體滯留。
  • 與鋁制高真空L型閥XL系列的安裝有互換性 (XM系列)

 

磁性開(kāi)關(guān)   D
 


 
系列磁性開(kāi)關(guān)種類內(nèi)容
D Series 有觸點(diǎn)的磁性開(kāi)關(guān)一般 (通用型)
無(wú)觸點(diǎn)的磁性開(kāi)關(guān)一般 (通用型)

 

平穩(wěn)出氣閥   XVD
 


 
系列/CAD閥形式使用流體配管連接方式配管尺寸
XVD 常斷
(加壓通/彈簧密封)
氮?dú)狻⒖諝?、惰性氣體等VCR®
Swagelok®
1/4B
特長(zhǎng)
  • 閥與針閥一體化結(jié)構(gòu)使配管縮短為原來(lái)的1/4。
  • (閥芯)座部分采用間隙隔膜,微粒子數(shù)量大幅降低。
  • 伴隨主供氣初期供氣可進(jìn)行流量調(diào)整。

 

門(mén)閥   XGT
 


 
系列/CAD使用壓力范圍 (Pa)使用流體門(mén)尺寸
(高×寬) (mm)
動(dòng)作壓力
(MPa)
XGT 大氣壓~1×10-6惰性氣體系的真空32×222
46×236
50×336
0.45~0.6
特長(zhǎng)
  • 對(duì)于半導(dǎo)體裝置等場(chǎng)合、適合于負(fù)載鎖定室和傳送室以及傳送室和過(guò)程室之間有門(mén)閥隔開(kāi)的場(chǎng)合。

 

真空無(wú)桿氣缸   CYV
 


 
系列/CAD使用環(huán)境壓力{Pa (ABS)}缸徑 (mm)
CYV 大氣~1.3×10-415,32
特長(zhǎng)
  • 真空環(huán)境內(nèi) (1.3×10-4Pa) 在搬運(yùn)場(chǎng)合可以使用的氣缸。

 

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